科目名
(英訳)
プラズマ工学
(Plasma Science and Technology)
標準履修年次 4 単位数 1.5
科目番号 開設曜時限 実施学期 担当教官名 研究室 電話
FF26191 (応用物理)木2春学期江角直道プラズマ研究センタ-6228

授業概要

「プラズマとは何か」に始り、多様なプラズマの応用を念頭に置いた基礎過程を学ぶとともに、半導体デバイス製造プロセス等の産業分野で用いられる低温プラズマから核融合を目指した高温・高密度プラズマまでを概説し、プラズマ理工学の概要を理解する。

授業内容

1.プラズマ理工学基礎
  プラズマの基礎量  (デバイ長、プラズマ振動数等)
  プラズマの諸特性  (電磁場中の荷電粒子の運動、プラズマ中の波動、原子分子過程等)
  プラズマ生成法   (応用を見据えたプラズマ生成法の概説)
2.プラズマの応用
  産業応用プラズマ  (プロセスプラズマ、大気圧プラズマ等)
  核融合プラズマ   (基礎を踏まえた原理、最近のトピックス等を概説)
上記の他、環境問題、エネルギー問題等、関連する分野の話題を適宜折りまぜて幅広くプラズマ理工学分野を概観する。

成績評価規準

期末テスト、レポート(1回)、出席を総合的に評価する。
期末(40) レポート(30) 出席(30)(但し、単位取得のためには、期末テストは必須)

試験日程予定

試験週間の開講時限

教科書

特に使用しない。適宜、プリントを配布する。

参考書
1)F.F.Chen, Introduction to Plasma Physics (Plenum Press, New York).
       内田岱二郎訳、「プラズマ物理入門」、丸善
2)高村秀一、「プラズマ理工学入門」、森北出版
3)赤﨑正則 他、「プラズマ工学の基礎」、産業図書
4)菅井秀郎、「プラズマエレクトロニクス」、オーム社

学習上の注意

様々な分野への応用を視野に入れながらプラズマの基礎的な性質を理解することを目標とする。プラズマの振舞いを知るためには、電磁気学、量子力学を始めとする複合的な基礎知識が必要である。授業では、復習を兼ねての解説を心掛けるが、各自でも学習しておくこと。

履修上の注意

特になし